微機電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎(chǔ)的，綜合多種學(xué)科領(lǐng)域技術(shù)的新型交叉學(xué)科。本專業(yè)的研究領(lǐng)域主要有微傳感器、微加速度計、微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測量技術(shù)等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機、電技術(shù)一體化方面的優(yōu)勢和研究成果為微機電系統(tǒng)技術(shù)方面的研究和發(fā)展打下了堅實的基礎(chǔ)。本系在微納米和微機電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設(shè)計、制造、工藝、測試以及基礎(chǔ)理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領(lǐng)域還有:微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測量技術(shù)、小飛機、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學(xué)以及光盤機讀寫頭微型機構(gòu)等。

微機電系統(tǒng)工程主要課程：微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學(xué)、微納米測量與測試技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、現(xiàn)代傳感技術(shù)、精密工程制造基礎(chǔ)和光存儲技術(shù)等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎(chǔ)的，綜合多種學(xué)科領(lǐng)域技術(shù)的新型交叉學(xué)科。主要培養(yǎng)從事微機電系統(tǒng)工程方面的設(shè)計制造，生產(chǎn)運行，科技開發(fā)和技術(shù)經(jīng)濟管理方面的人才。本科畢業(yè)后能從事微機電系統(tǒng)工程方面的設(shè)計制造、生產(chǎn)運行、科技開發(fā)和技術(shù)經(jīng)濟管理方面工作。